管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。管式爐的爐型有很多種，如立式、臥式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、五溫區(qū)、單管、雙管等等。

　　管式爐的選擇：

　　1、根據(jù)工作溫度要求選擇：如果工作溫度要求小于1200°C，可選擇爐管為石英管，加熱元件是含鉬電阻絲的管式爐；如果工作溫度大于1200小于1400，可選擇爐管為氧化鋁，加熱元件是硅碳棒的管式爐；如果工作溫度大于1400小于1700，可以選擇爐管為氧化鋁，加熱元件是硅鉬棒的管式爐；

　　2、根據(jù)升溫速率要求來選擇：如果升溫速率要求不高，0-30°C/min，一般的管式爐都可以選擇，但如果升溫速率要求比較高，大于30°C/min，需要選擇具有快速退火功能的管式爐，比如滑動(dòng)式快速退火爐，RTP快速退火爐等；

　　3、根據(jù)壓力要求來選擇，如果正壓超過0.03Mpa，需要選擇高壓管式爐，如果同時(shí)對(duì)溫度要求也比較高，需要選擇高溫高壓管式爐；

　　4、根據(jù)加熱區(qū)來選擇，如果需要多個(gè)溫區(qū)來進(jìn)行加熱，則選擇多溫區(qū)管式爐，具體溫區(qū)數(shù)可以根據(jù)要求來選擇；

　　5、根據(jù)工藝受熱要求來選擇，比如對(duì)特定材料要求受熱更均勻，可根據(jù)需求來選擇旋轉(zhuǎn)管式爐、多工位管式爐等。